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清洗工藝中,使用超聲波清洗機有效去除表面的有机物、颗粒、金属雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據不同清洗工配置相應的清洗單元,各部分有獨立控制,随意组合。
清洗工藝中,使用超聲波清洗機有效去除表面的有机物、颗粒、金属雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據不同清洗工配置相應的清洗單元,各部分有獨立控制,随意组合。